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晶圆盒清洗机Foup是一种全自动式的清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒（Smif Foup 、Fosb 、Cassette ）,可以实现清洗和干燥效果。清洗＋漂洗+热风进行烘干等工艺组成，高效率、高质量完成foup的Particle清洗。
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晶圆盒清洗机Foup是一种全自动式的清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒（Smif Foup 、Fosb 、Cassette ）,可以实现清洗和干燥效果。清洗＋漂洗+热风进行烘干等工艺组成，高效率、高质量完成foup的Particle清洗。
富嘉达晶圆盒FOUP清洗机具体设备验收标准如下要求：
（1）要求FOUP清洗后片盒内外表面无脏污，粉尘及油污。
（2）片盒清洗过后使用100ml纯水浸润，粒径大于0.1um颗粒增量小于2000个/ml。
（3）整个清洗过程中需要全自动化，减少人工参与。
（4）以产品的不同可对应调整相应的清洗时间；最终品质标准以双方签核后的设备技术方案要求为准；
（5）清洗产品规格以技术方案资料客户提供签核资料为准；
（6）清洗节拍根据产品难易干燥程度而定，也同设定清洗干燥时间有关；
应用范围：
该设备主要用于6寸8寸12寸半导体制程的Foup、 Fosb 、 Cassette的Particle晶圆盒清洗。
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序号 |
项 目 |
富嘉达晶圆盒清洗机 需 求 |
连接方法 |
连接点 |
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1 |
设备搬入口 |
详见设备设计图外形尺寸等。 |
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2 |
安放场地 |
室内，温度0~40℃，洁净环境车间 |
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3 |
安装布置 |
设备周边保留至少1m的保养维护空间 |
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4 |
主电源 |
3相5线，50Hz，380V，总电功率约36Kw， (接入设备电柜的主进线需要客户负责对接) |
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电柜开关端子 |
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5 |
压缩空气 |
压力0.4～0.6MPa，400NL/min(客户自备) |
管φ12mm |
清洗机后部或侧部 |
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6 |
排气 |
大约300-500m³/H（设备设有排风口，客户实施设备到室外的排气管道施工连接) |
交机前提供管φ |
清洗机顶部或侧部 |
