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FJD-1610LXG碲化铋WAFER 往复式晶圆清洗机-深圳富嘉达晶圆清洗设备

2021年01月10日 分享:

FJD-1610LXG碲化铋WAFER 往复式晶圆清洗机、深圳富嘉达晶圆清洗设备、碲化铋晶圆清洗机、碲化铋晶圆二流体清洗机、半导体碲化铋晶圆清洗机参数:

该全自动碲化铋晶圆离心清洗机设备主要由:清洗槽体、喷淋清洗漂洗系统、喷淋清洗槽体、液体循环过滤系统、往复式移动系统、管路、控制系统1套、清洗腔内置工作台、水压气压监测、机架等组成。整机为了便于运输,机体底部装有万向活动脚轮及支撑脚杯。

该半导体晶圆清洗机是一个全自动的清洗机,清洗介质为二流体(市水或纯水与压缩空气),清洗机工作时操作者将要清洗的手盘放到工作台上,放置到位后,人工将前窗关上,确认紧闭后,人工按下清洗按钮,气动往复式移动喷洗开始对工件进行清洗、漂洗,当时间到后,报警提醒工作人员,工作人员取出托盘;就完成了整个清洗过程,除上下料外,整个清洗、漂洗为全自动运行,无人工干预。清洗后操作员取料,完成整个清洗工序作业;

电  源:220V/50Hz

装机功率:约3KW;

给排水:总排水1",总进水3/4";

用水压力:0.3~0.5MPa;

压缩空气用量:10~30M3/H;压力:0.45~0.7MPa;过滤方式:1μm*1,0.01μm*1;

废气总排放量:约900M3/H(风机用户自配);

设备安装1个急停开关,以便紧急情况时,可快速的停止设备的运行,安装位置安全合理,便于操作。设备均有可靠的接地,以保障人员及设备电路的安全。

深圳富嘉达全国服务热线:0755-2799-3344  134-8068-0074

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